金融界 2024 年 12 月 3 日消息,国家知识产权局信息显示,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体器件及其制备方法”的专利,公开号 CN 119053155 A,申请日期为 2023 年 5 月。
专利摘要显示,本公开实施例提供一种半导体器件及其制备方法,其中,半导体器件包括:衬底;衬底至少包括器件区;堆叠结构,位于衬底表面;堆叠结构包括沿第三方向循环交替堆叠的间隔层和导电层;多个栅极,位于器件区、且沿第三方向贯穿堆叠结构;栅极包括控制层和位于控制层侧壁的电荷存储层;多个通道层,至少环绕设置于栅极的部分侧壁上;通道层和栅极形成存储单元;第三方向与衬底所在的平面相交。
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2024-12-03